메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김형태 (고려대학교) 송근수 (한국생산기술연구원) 김기철 (한국생산기술연구원) 유경훈 (한국생산기술연구원) 손승우 (성림피에스) 신대건 (대한피엔씨) 박덕준 (신성이엔지) 권오명 (고려대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제35권 제12호
발행연도
2011.12
수록면
1,249 - 1,255 (7page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (7)

2011

반도체 클린룸용 증기가습 및 수분무가습 외기공조시스템의 에너지소비량 비교연구
김형태 ,  송근수 ,  김기철 외 5명 대한기계학회 논문집 B권 2011.12 학술저널
반도체 클린룸용 외기공조시스템의 에너지소비량 비교연구
김형태 ,  송근수 ,  유경훈 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2011.05 학술대회자료
반도체 클린룸용 증기가습 및 수분무가습 외기공조시스템의 연간 에너지소비량 비교연구
김형태 ,  송근수 ,  유경훈 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2011.05 학술대회자료

2010

반도체 클린룸용 외기공조시스템의 에너지절감량 분석실험
김형태 ,  송근수 ,  유경훈 외 1명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2010.11 학술대회자료
반도체 클린룸용 외기공조시스템의 에너지소비량 비교실험
김형태 ,  송근수 ,  유경훈 외 1명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2010.06 학술대회자료
반도체 클린룸용 외기공조시스템의 에너지소비량 실험
김형태 ,  송근수 ,  유경훈 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2010.05 학술대회자료

2009

반도체 클린룸용 배기 열회수식 에어와셔 시스템의 에너지 소비량 실험
김형태 ,  송근수 ,  유경훈 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2009.05 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
최근의 반도체 제조용 대규모 클린룸에서는 도입 외기를 가열가습 및 냉각감습하는 외기공조시스템의 에너지소비량이 클린룸 환경을 유지하기 위해 필요한 전체 공조에너지의 약 45 %를 차지하고 있다. 특히 동기(겨울철)의 경우 외기를 가습하기 위한 에너지소비량은 매우 높다. 따라서 에너지절감을 통한 제조비용 절감 및 온실가스 감축을 위해 외기부하와 관계되는 공조에너지의 사용효율 증대 및 철저한 사용합리화가 요구되고 있다. 따라서 반도체 클린룸용 외기공조시스템의 핵심 가습방식인 증기가습과 수분무가습 방식에 대한 소비전력량을 분석하는 것은 에너지절약적 측면에서 상당히 가치가 있다고 판단된다. 본 연구에서는 전극봉식 가습기에 의한 증기가습방식 및 에어와셔에 의한 수분무가습방식 외기공조시스템들의 공조프로세스 및 소비전력량을 외기량1000 ㎥/h 의 경우 기흥지역의 동기 및 하기의 피크부하에 대해 비교하는 실험을 수행하였다. 실험결과들로부터 에어와셔 수분무가습 외기공조시스템이 전극봉식 증기가습 외기공조시스템보다 연간 소비전력량이 적어서 에너지절약적임을 보여주었다.
#Clean Room(클린룸) #Outdoor Air Conditioning System(외기공조시스템) #Energy Consumption(에너지 소비량) #Power Consumption Per Unit Load(단위부하당 소비전력) #Steam Humidification(증기가습) #Water Spray Humidification(수분무가습)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 결과 및 검토
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (13)

참고문헌 신청
1. [학술대회논문] - Watanabe, T / 1998 / Removal of Chemical Components in Air by Air Washer / Proc. of the 16th Annual Technical Meeting on Air Cleaning and Contamination Control : 1 ~ 4 google schola 2. [학술대회논문] - Yoshizaki, S / 1999 / Removal of Chemical Compounds from Outside Air by Air Washer (Part 3) The Influence of the Temperature and Humidity of Inlet Air on Removal Efficiency / Proc. of the 17th Annual Technical Meeting on Air Cleaning and Contamination Control : 1 ~ 4 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - 송근수 / 2008 / 반도체 클린룸용 에어와셔의 암모니아 제거성능 개선 연구 / 한국실내환경학회지 5 (2) : 151 ~ 157 dbpia 4. [학술지(정기간행물)] - Yoo, K.H / 2007 / Reduction of Air Conditioning Energy in Semiconductor/ Display Manufacturing Clean Rooms / Air Cleaning Technology, Korea Air Cleaning Association 20 (4) : 1 ~ 18 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Tsao, J.-M / 2008 / Saving Energy in the Makeup Air Unit (MAU) for Semiconductor Clean Rooms in Subtropical Areas / Energy and Buildings 40 : 1387 ~ 1393 google schola

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

반도체 클린룸 연간 에너지 절감을 위한 외조기 구성의 제안 및 효과 분석
정우현 ,  송두삼 설비공학논문집 2023 .04
반도체 클린룸용 증기가습 및 수분무가습 외기공조시스템의 에너지소비량 평가
김기철 ,  송근수 ,  김형태 외 3명 설비공학논문집 2013 .02
반도체 클린룸의 다양한 피드백 제어 방식에 대한 실내온도 과도응답 및 에너지소비 평가
송근수 ,  정준수 ,  김춘식 외 3명 대한기계학회 논문집 B권 2023 .05
전기클린룸 개발을 위한 수분무노즐 가습성능 평가
송근수 ,  김춘식 ,  손범수 외 5명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2022 .06
반도체 클린룸의 실내온도 피드백 제어방식에 대한 과도 응답 및 에너지소비 평가
송근수 ,  정준수 ,  송주섭 외 6명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2021 .11

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2013-550-001073063