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최현영 (인제대학교) 김민수 (인제대학교) 김군식 (인제대학교) 조민영 (인제대학교) 전수민 (인제대학교) 임광국 (인제대학교) 이동율 (삼성 LED) 김진수 (전북대학교) 김종수 (영남대학교) 임재영 (인제대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제43권 제3호
발행연도
2010.6
수록면
121 - 126 (6page)

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The PS(porous Si) were fabricated with different anodization time and current density. The structural and optical properties of PS were investigated by SEM(scanning electron microscopy), AFM(atomic force microscopy), and PL(photoluminescence). It is found that the pore size and surface roughness of PS are proportional to the current density. The PL spectra show that the PL peak position is red-shifted with increasing anodization time. This behavior corresponds to the change of pore size which is consistent with the quantum confinement model. The FWHM(full width at half maximum) of PL peak is decreased from 97 to 51 nm and the PL peak position is blue-shifted with increasing current density up to 10 ㎃/㎠. The PL peak intensity of the PS fabricated under 1 ㎃/㎠ is the highest among samples.
#Porous Si #Anodization #Photoluminescence #Scanning electron microscopy

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (16)

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1. [학술지(정기간행물)] - A. Uhlir / 1956 / / The Bell System Technical Journal 35 : 333 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - D. R. Turner / 1958 / / J. Electrochem. Soc. 105 : 402 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - L. T. Canham / 1990 / / Appl. Phys. Lett. 57 : 1046 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - S. H. Jang / 2008 / / Mater. Lett. 62 : 552 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - G. Lammel / 2001 / / Sens. Actuator A-Phys. 92 : 52 ~ google schola

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