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저자정보
김기복 (한국표준과학연구원) 안봉영 (한국표준과학연구원) 박해원 (한국표준과학연구원) 김영주 (한국표준과학연구원) 이승석 (한국표준과학연구원)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2004년도 재료 및 파괴부문 추계학술대회 및 파손방지기술 산학연 연합회 워크숍 논문집
발행연도
2004.8
수록면
99 - 106 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (14)

2014

액화수소 저장용기 결함 검출을 위한 유도초음파 송수신용 pitch-catch 형 초음파 탐촉자 개발
김기복 ,  서무경 ,  김건우 외 5명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2014.05 학술대회자료

2012

유도초음파를 이용한 액화수소저장 용기 시편의 인공 표면 결함 검출
김기복 ,  오현근 ,  양승환 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012.10 학술대회자료

2011

비파괴검사용 압전형 초음파 탐촉자
김기복 비파괴검사학회지 2011.08 학술저널

2007

PMN-PT 압전 단결정을 이용한 고감쇠 재료 비파괴 평가용 초음파 탐촉자 연구
김기복 ,  안봉영 ,  김영길 외 2명 비파괴검사학회지 2007.08 학술저널
과실 비파괴평가용 초음파 변환기 개발
김기복 ,  이상대 ,  김만수 바이오시스템공학(구 한국농업기계학회지) 2007.01 학술저널

2006

과실용 비접촉 초음파 센서의 성능 개선에 관한 연구
김기복 ,  이상대 ,  박정길 외 2명 한국농업기계학회 학술발표논문집 2006.01 학술대회자료
과실용 비접촉 초음파 센서 개발을 위한 연구
김기복 ,  이상대 ,  김만수 외 1명 한국농업기계학회 학술발표논문집 2006.01 학술대회자료

2005

MEMS 기술을 이용한 생체계측용 초소형 초음파 변환기 개발
김기복 ,  안봉영 한국농업기계학회 학술발표논문집 2005.01 학술대회자료

2004

미세가공 정전용량형 초음파 탐촉자 개발(Ⅲ) : 탐촉자 성능평가
김기복 ,  안봉영 ,  박해원 외 2명 비파괴검사학회지 2004.12 학술저널
미세가공 정전용량형 초음파 탐촉자 개발(Ⅱ) : 미세공정기술 분석
김기복 ,  안봉영 ,  박해원 외 3명 비파괴검사학회지 2004.12 학술저널
미세가공 정전용량형 초음파 탐촉자 개발(I) - 진동 막 거동 분석
김기복 ,  안봉영 ,  박해원 외 2명 비파괴검사학회지 2004.10 학술저널
미세가공 정전용량형 초음파 트랜스듀서 개발
김기복 ,  안봉영 ,  박해원 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2004.08 학술대회자료

2003

과실용 초음파 센서 개발에 관한 연구
김기복 ,  김만수 ,  이상대 외 1명 한국농업기계학회 학술발표논문집 2003.01 학술대회자료

2002

고온 시험용 초음파 트랜스듀서 개발에 관한 연구
김기복 ,  윤동진 ,  이승석 한국농업기계학회 학술발표논문집 2002.01 학술대회자료

초록· 키워드

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In this study, the capacitive micromachined ultrasonic transducer (cMUT) was developed. Theoretical analysis and finite element analysis of the behavior of membrane (such as resonance frequency, membrane deflection, collapse deflection and collapse voltage) of the cMUT were performed. The design parameters of the cMUT were estimated and are the dimension and thickness of membrane, thickness of sacrificial layer, thickness and size of electrode, size of active element and so on. With the micro-fabrication process, the cMUT was fabricated on the silicon wafer. To measure the membrane displacement of cMUT, the Michelson phase modulation fiber interferometer was constructed. The measured membrane displacement was good agreed with the result of finite element analysis. To estimate the ultrasonic wave generated by the cMUT, the ultrasonic transceiver system was constructed. The developed cMUT shows a good performance and hence will be widely used to the filed of non-contact ultrasonic application.
#MEMS(미세가공) #Non-contact(비접촉) #cMUT(미세가공 정전용량형 초음파 트랜스듀서) #Air-coupled(공기결합)

목차

Abstract
1. 서론
2. cMUT의 이론적 해석
3. cMUT 제작
4. cMUT를 이용한 초음파 측정장치
5. 결과 및 고찰
6. 요약 및 결론
참고문헌

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