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박종연 (한국과학기술연구소) 이영민 (한국과학기술연구소) 김성엽 (한국과학기술연구소) 전석기 (한국과학기술연구소) 임세영 (한국과학기술연구소)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2003년도 생산 및 설계공학 부문 추계학술대회 논문집
발행연도
2003.11
수록면
65 - 69 (5page)

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We perform molecular dynamics and quasi continuum simulations of nanoindentations with emphasis on the incipient plasticity and dislocation-loop glides. The effects of indenter tip size, indenting speed and film thickness are investigated in relation with defect evolution inside the ultra-thin film. Furthermore, the molecular dynamics simulations of mechanical nanolithography by surface scratching are also presented. It has been found that vacancy is the major residual defect profile in surface modification by AFM-tip ploughing.
#Nanoindentation(나노압입) #Nanoscratch(나노스크래치) #Molecular Dynamics Simulation(분자동역학 전산모사) #Dislocation-Loop Glide(전위루프 글라이드)

목차

Abstract
1. 서론
2. 전산모사 결과
3. 결론
후기
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