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저자정보
김경헌 (한국과학기술연구원) 성영민 (한국과학기술연구원) 김태근 (고려대학교) 전영민 (한국과학기술연구원) 김선호 (한국과학기술연구원) 변영태 (한국과학기술연구원)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2010년 하계종합학술대회
발행연도
2010.6
수록면
679 - 681 (3page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2011

간단한 자기 조립 기법으로 배열된 단일벽 탄소 나노 튜브센서의 제작공정
김경헌 ,  김선호 ,  변영태 전자공학회논문지-SC 2011.03 학술저널

2010

포토리소그래피 공정만을 이용한 단일벽 탄소 나노튜브의 자가 조립 공정에 대한 연구
김경헌 ,  성영민 ,  김태근 외 3명 대한전자공학회 학술대회 2010.06 학술대회자료
포토리소그래피 공정만을 이용한 단일벽 탄소 나노튜브의 자가 조립 공정에 대한 연구
김경헌 ,  성영민 ,  김태근 외 3명 대한전자공학회 학술대회 2010.06 학술대회자료

2009

논리소자용 전계효과 트랜지스터 제작을 위한 단일벽 탄소 나노튜브 자가조립 공정에 대한 연구
김경헌 ,  허진희 ,  김태근 외 3명 한국통신학회 기타 간행물 2009.12 학술대회자료

초록· 키워드

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In this paper, we investigated selective selfassembled methods of single-walled carborn nanotubes (SWNTs) using only photolithographic processes. Photoresist(PR) patterns were made using photolithographic processes on the silicon dioxide (SiO ... 전체 초록 보기

목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 구현
Ⅳ. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

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화학적/전기적 처리를 통한 탄소 나노튜브 트랜지스터의 성능향상 기술 개발
이정오 ,  소혜미 ,  김병계 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2005 .11
용액 전사 임프린트 리소그래피를 이용한 나노멤브레인 제작 공정
안준형 ,  임형준 ,  권순근 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2019 .04
나노 구조체 제작을 위한 산화물 기반 lift-off 공정 연구
이민영 ,  이승훈 ,  윤재성 외 2명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2017 .04

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