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김희천 (LG디스플레이) 정종택 (LG디스플레이) 김성길 (LG디스플레이) 허재원 (LG디스플레이)
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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 동역학 및 제어부문 춘계학술대회 논문집
발행연도
2010.6
수록면
334 - 339 (6page)

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TFT-LCD 를 생산하는 공장 구조물에는 C/R(Clean Room) 이 있으며, C/R 내에는 각 생산 공정의 특성에 맞는 정밀장비가 설치되어 있다. TFT-LCD 생산공정은 TFT 및 Color Filter(C/F) 기판 공정과 Cell 공정이 있으며, Cell 공정 이후 TFT-LCD 모듈을 완성하는 모듈 공정이 있다. 각 공정별 정밀장비는 다양한 부품으로 구성되어 있다. 특히 ATM(Atmosphere) Robot 의 경우는 각 공정마다 있는 공통 장비로서 4 축 관절 및 다관절 로봇으로 구분되며, 감속기는 각 축을 이루는 핵심 부품이다. 이러한 감속기의 열화가 진행됨에 따라 로봇의 정상운용에 문제가 발생되며, 품질문제를 유발하기도 한다. 본 논문에서는 TFT-LCD C/R 내 ATM Robot 의 감속기에 대해 초음파를 활용한 성능 평가를 하였고, 확인된 결과를 자사 생산 설비에 실제 적용 하였으며, 적용 결과 감속기에 의한 ATM 로봇의 고장이 감소됨을 확인하였다.
#TFT-LCD #Atmosphere Robot(대기 로봇) #Speed Reducer(감속기) #Ultrasonic(초음파) #Noise(소음) #Fault Detection & # Classification(사전 감지)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. ATM Robot 구성 및 감속기 종류
3. 평가 방법
4. 평가 결과
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

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