Optical MEMS 기술의 개발 개요 및 현황

부종욱

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 부종욱 (LG전자)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2002년도 동역학 및 제어부문 동계 워크숍 강연집

발행연도: 2002.2

수록면: 5 - 17 (13page)

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