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REACTIVE SPUTTER DEPOSITION OF TITANIUM NITRIDE FILMS
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1989 .01
스퍼터 증착된 Al-Mg 합금 박막의 미세구조 형성거동과 박막특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .05
유도결합플라즈마가 적용된 반응성 스퍼터법을 이용한 TiO₂ 박막의 증착
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .11
스퍼터법으로 증착된 몰리브데늄 박막 및 텅스텐 박막의 잔류 응력 제어
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
폴리이미드 위에 스퍼터 증착된 구리 박막의 미세구조
한국표면공학회지
1992 .02
DSCs용 나노 다공질 구조 TiO₂ 박막 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
2008 .07
RF마그네트론 스퍼터 증착장치 개발연구(Ⅰ)
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .07
초정밀 저항용 박막제조에 미치는 스퍼터 공정변수의 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .06
스퍼터링 증착법을 이용한 박막 배터리 제조 및 분석
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2013 .10
폴리이미드 위에 스퍼터 증착된 구리 박막의 미세구조
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1992 .05
펄스 레이저 증착법에 의한 (Pb0.72La0.28)Ti0.93O₃ 박막의 증착
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .07
Fe3O4 박막의 증착 속도에 따른 광학적 특성 변화
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .04
상온에서 분말타겟의 스퍼터에 의해 증착된 ITO박막
한국표면공학회지
2000 .10
BaNb₂O6:Eu3+ 박막의 특성에 증착 온도가 미치는 효과
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2015 .06
태양전지 응용을 위한 고품위 및 저가격 ZnO 박막 제조에 관한 연구
한국정보통신학회논문지
2010 .01
Transparent semiconductors for photoelectric devices
정보 및 제어 논문집
2016 .10
Transparent semiconductors for photoelectric devices
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .10
자성박막 제작용 대향타겟식 스퍼터 장치에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .11
Sputtering Deposition 의 특성과 그 응용
한국표면공학회지
1981 .03
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