반응성 RF 마그네트론 스퍼터로 증착한 AIN 박막의 물성 및 SAW소자 특성에 관한 연구

高鳳哲 ,  田淳培 ,  黃永漢 외 3명

전기학회논문지 C

2004 .02

ZnO 박막의 RF 마그네트론 스퍼터 증착 중 미리 가열된 기판의 자연냉각 효과

朴成賢 ,  李能憲

전기학회논문지

2007 .05

Impedance Analysis of RF-Magnetron Sputtered WO₃ Films in Aqueous Solution

현상무 ,  변수일

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1993 .11

RF 마그네트론 스퍼터의 자기장 분포 변화에 의한 ITO 박막의 전기적 특성에 관한 연구

김현수 ,  김일영 ,  민상홍 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2012 .05

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

RF 마그네트론 스퍼터법으로 성장한 p-i-n LED 구조의 특성평가

공보현 ,  김영이 ,  한원석 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

Al₂O₃ 기판위에 반응성 RF 마그네트론 스퍼터로 증착한 AIN 박막의 SAW소자 응용에 관한 연구

高鳳哲 ,  孫陳雲 ,  金炅錫 외 3명

전기학회논문지 C

2003 .07

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 전기변색 박막의 물성평가

조상현 ,  이재근 ,  이성호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

고주파 마그네트론 스퍼터장치로 증착한 Ti 박막의 특성에 관한 연구

배창환 ,  이주희 ,  한창석

열처리공학회지

2009 .01

RF 마그네트론 스퍼터링 증착 압력변화에 따른 SnS 박막의 구조적, 광학적 특성 연구

손승익 ,  신동혁 ,  김서한 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 유기 EL용 ITO 박막의 증착

김규현 ,  최균 ,  최의석 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막의 증착 및 구리 도우핑 효과

李進馥 ,  李惠靜 ,  徐洙瑩 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .12

RF 마그네트론 스퍼터를 이용한 TiN 박막 제조 및 특성 분석

유창준 ,  심연아 ,  문종하 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

RF Magnetron Sputtering법에 의해 제작한 마그네슘 박막의 특성연구

배일용 ,  김기준 ,  문경만 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 고온 내구성 InSbO₄ 박막의 물성 평가

이현준 ,  조상현 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

RF Magnetron Sputter로 증착한 ZnO 압전변환기의 구조 및 음향특성에 관한 연구

이종덕 ,  고상춘 ,  송준태

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

RF Magnetron Sputtering 으로 BST 증착한 박막의 특성연구

양기덕 ,  조해석 ,  조호진 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01