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이승지 (경남대학교) 곽태영 (경남대학교) 이경찬 (경남대학교) 한상보 (경남대학교) 박상현 (경남대학교) 박재윤 (경남대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2010 대한전기학회 제41회 하계학술대회
발행연도
2010.7
수록면
1,319 - 1,320 (2page)

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본 논문은 Microwave Plasma Process를 이용한 Boron 도핑 다이아몬드 박막의 산소 공급의 유무와 증착시간의 변화에 따른 박막의 특성을 분석한 것으로 표면형상과 결정성 및 성분에 대하여 논하였다. 산소의 공급 유무에 따라서 산소가 없을 경우 비정질 및 DLC와 흑연이 혼합된 상태를 보였다. 그리고 산소가 공 ... 전체 초록 보기

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