W-C-N 확산방지막의 격자상수 변화 분석을 통한 특성 연구

김수인 ,  이창우

Applied Science and Convergence Technology

2008 .03

⁵⁵Mn²⁺와 ⁵⁵Mn³⁺ 핵자기공명으로 연구한 Mn₃O₄의 자기이방성 상수와 교환상호작용 상수

김창수 ,  심정현 ,  조은아 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2012 .05

First - principle에 의한 격자 변형된 SrTiO₃와 BaTiO₃격자의 유전특성 분석

김이준 ,  김주호 ,  정동근 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

Stress - Strain Curve를 이용한 W-C-N 확산방지막의 물성 특성 연구

이규영 ,  김수인 ,  박상재 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

연속압입 분석을 이용한 W-C-N 확산방지막 물성 연구

이규영 ,  김수인 ,  박상재 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

Evaluation of Barrier Films Against Lithium Diffusion

Byeol Han ,  Joo-Sun Hwang ,  Wan-Kyu Lim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

확산실험에 의한 대기오염물질의 확산특성 연구

이종범 ,  강인구 ,  이석조 외 2명

한국대기환경학회 학술대회논문집

1989 .01

Mo - 화합물의 확산방지막으로서의 성질

김지형 ,  이영준 ,  염근영 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

박막내의 Stress 형태에 따른 W-N 확산방지막의 열적 안정성 연구

이규영 ,  김수인 ,  김주영 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

방지기술(기체방지기술)

이정주

한국대기환경학회 학술대회논문집

2002 .10

이동최소자승법을 이용한 중첩격자기법의 개선

이관중 ,  이승수 ,  조진연

한국산업응용수학회 학술대회 논문집

2007 .05

확산 및 반응

구윤서 ,  이화운

한국대기환경학회 학술대회논문집

2002 .04

Cu 금속 배선에 적용되는 질소와 탄소를 첨가한 W-C-N 확산방지막의 질소불순물 거동 연구

김수인 ,  이창우

Applied Science and Convergence Technology

2007 .09

(Fe_97.5Co_2.5)_1-xC_x 합금의 결정자기이방성상수(K₁)

김경민 ,  권해웅 ,  이정구 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2017 .05

확산 방지막에 의한 교환 결합형 Soft Underlayer의 열적특성 향상

윤성용 ,  이재철 ,  이후산 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2006 .11

W-C-N 확산방지막의 전자거동(electromigration) 특성과 표면 강도(surface hardness) 특성 연구

김수인 ,  김창성 ,  이재윤 외 8명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Nano-Indenter를 이용한 W-N 확산방지막의 Stress 거동 연구

이규영 ,  김수인 ,  김주영 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

제일원리적 계산 방법에 의한 격자 변형된 SrTiO₃산화물 격자의 optical phonon softening

김이준 ,  정동근 ,  김주호 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Copper 확산방지막으로서의 titanium nitride의 열적 안정성 연구

박병남 ,  이종현 ,  최시영

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07