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W-C-N 확산방지막의 전자거동(ElectroMigration) 특성과 표면 강도(Surface Hardness) 특성 연구
Applied Science and Convergence Technology
2009 .05
다결정 Cu, Ag 금속 배선의 Electromigration failure특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
MOCVD Copper 박막의 열처리가 Electromigration 특성에 미치는 영향 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
Al - 1%Si 박막 금속화의 Electromigration에 의한 결함현상
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .02
D.C 와 Pulsed D.C조건하에서의 Al - 1%Si박막금속화의 Electromigration현상에 관한 연구.
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
MOCVD Copper 박막의 열처리가 Electromigration 특성에 미치는 영향 연구
Applied Science and Convergence Technology
2002 .12
Al - 1%Si 박막 금속화의 신뢰도 향상을 위한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1992 .10
Al - 1%Si 박막금속화의 Electromigration에 대한 Interconnection Geometry 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
W-C-N 확산방지막의 격자상수 변화 분석을 통한 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
극소전자 디바이스를 위한 Al - 1%Si 박막배선에서의 Electromigration 특성
Applied Science and Convergence Technology
1995 .09
Cu 금속 배선에 적용되는 질소와 탄소를 첨가한 W-C-N 확산방지막의 질소불순물 거동 연구
Applied Science and Convergence Technology
2007 .09
극소전자 디바이스를 위한 Al - 1%Si 박막배선에서의 electromigration 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
사용 환경조건에 따른 Epoxy / Glass Fiber 복합재료의 표면특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
확산실험에 의한 대기오염물질의 확산특성 연구
한국대기환경학회 학술대회논문집
1989 .01
Nano-Indenter를 이용한 W-N 확산방지막의 Stress 거동 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
확산 방지막의 표면 세정이 촉매 Cu - MOCVD에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
Stress - Strain Curve를 이용한 W-C-N 확산방지막의 물성 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
Al - 1%Si 박막배선에서 엘렉트로마이그레이션 현상에 미치는 절연보호막 효과
Applied Science and Convergence Technology
2001 .04
Nano-Mechanics 분석을 통한 질화 텅스텐 확산방지막의 질소 유량에 따른 박막내 응력 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
절연보호막 처리된 Al - 1%Si박막배선에서 D.C.와 Pulsed D.C. 조건하에서의 electromigration현상에 관한 연구.
Applied Science and Convergence Technology
1996 .09
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