Electrical and structural properties of HfO₂ deposited by r.f magnetron sputter

youngbin Hong; Yongha Roh

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: youngbin Hong (성균관대학교) Yongha Roh (성균관대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제35회 하계정기학술대회 초록집

발행연도: 2008.8

수록면: 113 - 113 (1page)

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