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송대혁 (삼성전자공과대학교) 신희성 (삼성전자) 이정윤 (삼성전자공과대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제35회 하계정기학술대회 초록집
발행연도
2008.8
수록면
317 - 317 (1page)

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