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저자정보
안상혁 (한국과학기술연구원) 유대호 (한국과학기술연구원) 장홍영 (한국과학기술연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제39회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.8
수록면
111 - 111 (1page)

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