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헬리콘 플라즈마의 연구 현황
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
반사계를 이용한 헬리콘 플라즈마 밀도측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
헬리콘 플라즈마의 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
헬리콘 플라즈마를 이용한 고선택비 산화막 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
가스 주입구의 위치가 헬리콘 플라즈마 특성 및 산화막 식각에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
Lower Hybrid 주파수 부근에서 헬리콘 플라즈마의 주파수 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
헬리콘 플라즈마의 모드변환 영역 근처에서 충돌에 의한 에너지 흡수에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
영구 자석을 이용한 다수 헬리콘 방전의 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
C₄F8 / H₂ 헬리콘 플라즈마를 이용한 산화막 식각시 형성된 잔류막 손상층이 후속 실리사이드 형성 및 전기적 특성에 미치는 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
헬리콘 고밀도 플라즈마로부터 라디칼 빔의 추출 및 이를 이용한 실리콘의 건식식각
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
헬리콘 플라즈마의 전기적 특성
Applied Science and Convergence Technology
1996 .03
ICP와 헬리콘 플라즈마를 이용한 대면적 고밀도 플라즈마 소스 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
헬리콘 플라즈마메서 이온 펌핑 효과의 영향에 대한 수치적 해석 연구
Applied Science and Convergence Technology
1999 .08
C₄F8 / H₂ 헬리콘 플라즈마를 이용한 고선택비 산화막 식각공정시 실리콘 표면의 오염 및 손상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
대기압 플라즈마 밀도 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
유도결합 플라즈마에서의 질소 진동온도 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
헬리콘 플라즈마에서 이온 에너지 분포 및 플라즈마 전위에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1995 .06
다양한 공정 주파수에서 유도 결합 플라즈마의 플라즈마 밀도와 에너지 전달 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
헬리콘 플라즈마로부터 중성입자 흐름의 생성 및 이를 이용한 실리콘의 건식식각
Applied Science and Convergence Technology
1998 .11
Spectrum Analyzer를 통한 미세 방전 플라즈마 밀도측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
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