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박세훈 (서울대학교) 이재열 (서울대학교) 김정섭 (서울대학교) 김수진 (서울대학교) 석철균 (서울대학교) 양창재 (서울대학교) 박진섭 (서울대학교) 윤의준 (서울대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제39회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.8
수록면
163 - 163 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

InSb 적외선 감지 소자용 Si₃N₄, SiO₂ 절연막 계면 특성 연구
박세훈 ,  이재열 ,  김정섭 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.08 학술대회자료
InSb 적외선 감지 소자 pn 접합 형성 연구
박세훈 ,  이재열 ,  김정섭 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

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