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부유형 단일탐침을 이용한 플라즈마 진단법
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
부유탐침을 이용한 플라즈마 측정법에서의 인가 주파수 영향의 보정 및 쉬스 임피던스 측정 방법
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
축전기의 과도 현상을 이용한 부유형 단일탐침 플라즈마 진단법 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
이중주파수 부유형 탐침법을 이용한 플라즈마 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
Wave-cutoff 탐침을 이용한 플라즈마 진단 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
임베디드 2차원 평면 탐침을 이용한 플라즈마 균일도 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
플라즈마 공간분포 측정을 위한 디지털카메라를 이용한 토모그래피 진단법 개발 및 부유탐침 진단 결과와의 비교 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
엔탈피 프로브 진단기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
시변환 쉬스 거동에 대한 탐침 전류 곡선의 해석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
전위 측정에 미치는 탐침의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
이중 주파수의 위상변화에 따른 자기바이어스를 이용한 플라즈마 변수 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
변형 부유 고조화법을 이용한 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
컷오프 탐침과 량뮤어 탐침을 이용한 Ar/CF4 유도결합 플라즈마 특성 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
마이크로웨이브 기반 플라즈마 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Laser Induced Incandescence를 이용한 플라즈마에서 생성된 나노크기의 오염입자 크기측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
평판형 탐침을 이용한 공정 챔버 벽 증착 막 두께 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
캐패시턴스 변화를 이용한 진공 플라즈마 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
가스 펄스를 이용한 플라즈마 내 나노입자 합성 및 크기 제어
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
레이저를 이용한 플라즈마 내 나노입자의 in-situ 크기 및 밀도 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
랑뮤어 탐침 전류 측정의 하중효과(Load effect)
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
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