인가 주파수 크기에 따른 부유 탐침의 전류 변화를 이용한 플라즈마 물성 측정

최명선 ,  이석환 ,  김곤호

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

부유형 단일탐침을 이용한 플라즈마 진단법

최익진 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

축전기의 과도 현상을 이용한 부유형 단일탐침 플라즈마 진단법 연구

최익진 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

이중주파수 부유형 탐침법을 이용한 플라즈마 진단 연구

박일서 ,  방진영 ,  김영철 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Wave-cutoff 탐침을 이용한 플라즈마 진단 특성 분석

서상훈 ,  전현수 ,  장홍영

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

플라즈마 공간분포 측정을 위한 디지털카메라를 이용한 토모그래피 진단법 개발 및 부유탐침 진단 결과와의 비교 분석

장시원 ,  이승헌 ,  최원호

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

전위 측정에 미치는 탐침의 영향

윤영환 ,  우대하 ,  신태호 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

임베디드 2차원 평면 탐침을 이용한 플라즈마 균일도 진단

김진용 ,  최익진 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

플라즈마 전기적 진단 기술

유신재

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

엔탈피 프로브 진단기술

서준호

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

이중 주파수의 위상변화에 따른 자기바이어스를 이용한 플라즈마 변수 측정

박일서 ,  이효창 ,  김유신 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

광감쇠법을 이용한 플라즈마 내 나노입자 밀도 측정

선창래 ,  박호용 ,  최원호 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

ICP etching 시스템의 RF bias 전극에서 측정된 전기적 특성과 플라즈마 파라미터와의 상관관계

이나연 ,  권오형 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

고기후 및 고환경 연구를 위한 눈 시료의 수분동위원소(δD, δ¹⁸O) 측정

김선미 ,  허순도 ,  정지웅 외 3명

한국기상학회 학술대회 논문집

2011 .04

측정 및 분석(측정/분석)

김조천 ,  김덕현

한국대기환경학회 학술대회논문집

2002 .04

측정 및 분석(측정/분석)

김선태 ,  이종해

한국대기환경학회 학술대회논문집

2002 .04

변형 부유 고조화법을 이용한 플라즈마 진단

서종인 ,  이호원 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

초소형 실리콘 신경탐침의 임피던스 특성 향상 연구

이수진 ,  이이재 ,  윤효상 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

평판형 탐침을 이용한 공정 챔버 벽 증착 막 두께 측정

김진용 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

컷오프 탐침과 량뮤어 탐침을 이용한 Ar/CF4 유도결합 플라즈마 특성 진단

손의정 ,  김윤기 ,  위성석 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02