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전동환 (나노소자특화팹센터) 김창주 (나노소자특화팹센터) 강호관 (나노소자특화팹센터) 박원규 (나노소자특화팹센터) 이재진 (아주대학교) 고철기 (나노소자특화팹센터)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.2
수록면
272 - 272 (1page)

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