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김상현 (Korea Institute of Science and Technology (KIST)) 박민수 (Korea Institute of Science and Technology (KIST)) 금대명 (Korea Institute of Science and Technology (KIST)) 양현덕 (Korea Institute of Science and Technology (KIST)) 김호성 (Korea Institute of Science and Technology (KIST)) 류근환 (Korea Institute of Science and Technology (KIST)) 송진동 (Korea Institute of Science and Technology (KIST)) 김창주 (Korea Advanced Nano Fab Center (KANC)) 최원준 (Korea Institute of Science and Technology (KIST))
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제47회 하계정기학술대회초록집
발행연도
2014.8
수록면
277 - 277 (1page)

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