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자료유형
학술대회자료
저자정보
진수봉 (성균관대학교) 최윤석 (성균관대학교) 최인식 (성균관대학교) 한전건 (성균관대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제37회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2009.8
수록면
360 - 360 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

PECVD 시스템을 이용한 RF 바이어스에 의한 실리콘 옥사이드 배리어 박막의 특성에 대한 고찰
진수봉 ,  최윤석 ,  최인식 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.08 학술대회자료
PECVD 시스템을 이용한 RF 파워에 따른 PET 기판에 합성된 실리콘 옥사이드 배리어 박막의 특성에 대한 고찰
진수봉 ,  Bao Sa ,  ula 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.02 학술대회자료

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