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저자정보
김인용 (한국과학기술연구원) 신중훈 (한국과학기술연구원) 서세영 (한국표준과학연구원) 김경중 (한국표준과학연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제37회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2009.8
수록면
96 - 96 (1page)

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