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서문희 (삼성전자공과대학교) 김동환 (삼성전자공과대학교) 허문 (삼성전자) 나원필 (삼성전자) 최정희 (삼성전자) 최철환 (삼성전자) 황성준 (삼성전자) 이주범 (삼성전자)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제37회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2009.8
수록면
376 - 376 (1page)

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