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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제9회 학술발표회논문개요집
발행연도
1995.6
수록면
83 - 83 (1page)

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1998

자화된 유도결합형 $\textrm{C}_{4}\textrm{F}_{8}$ 플라즈마를 이용한 $\textrm{SiO}_2$ 건식 식각시 실리콘 표면에 발생하는 손상 및 오염에 관한 연구
남욱준 ,  김현수 ,  윤종구 외 1명 한국재료학회지 1998.01 학술저널

1996

자화된 유도결합형 플라즈마 식각공정시 형성된 실리콘표면의 오염 및 손상에 관한 연구
남욱준 ,  이용혁 ,  강민구 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 1996.06 학술대회자료

1995

고밀도 플라즈마 식각 공정시 형성된 실리콘 표면의 오염 및 손상 제거에 관한 연구
남욱준 ,  김현수 ,  박형호 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 1995.06 학술대회자료

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신중욱 ,  김상식 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2005 .11
경성ㆍ연성 인쇄회로기판들의 전극 간 초음파 접합 특성에 미치는 대기압 플라즈마 세정의 효과
이종근 ,  구자명 ,  이종범 외 2명 대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집 2008 .05
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산화갈륨 희생층을 이용한 AlGaN/GaN-on-Si HFET의 특성 개선 연구
이재길 ,  차호영 전자공학회논문지 2014 .02
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