초소형 MEMS 마이크로폰의 설계 및 공정 기술

허신; 이영화; 최홍수; 박준식

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 허신 (한국기계연구원) 이영화 (한국기계연구원) 최홍수 (한국기계연구원) 박준식 (한국기계연구원)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2010년도 추계학술대회 논문집(상)

발행연도: 2010.11

수록면: 381 - 382 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2011

초소형 MEMS 마이크로폰의 제작공정 및 기전특성 측정 연구

허신 , 정영도 , 이영화 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011.06 학술대회자료

2010

초소형 MEMS 마이크로폰의 설계 및 공정 기술

허신 , 이영화 , 최홍수 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2010.11 학술대회자료

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S. Hur

소속기관 한국기계연구원

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논문수 73 이용수 12,365

이영화

소속기관 한국정보통신기술협회

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 전기전자공학 > 정보통신공학

논문수 20 이용수 2,459

최홍수

소속기관 대구경북과학기술원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 0.5% 공학 > 전기전자공학 > 정보통신공학

논문수 63 이용수 10,613

박준식

소속기관 한화시스템

주요연구분야 자연과학 > 화학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 85 이용수 6,350

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초소형 MEMS 마이크로폰의 제작공정 및 기전특성 측정 연구

허신 , 정영도 , 이영화 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011 .06

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이정현 , 김태곤 , 양지선 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012 .10

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