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Bong-Hwan Kim (University of Illinois at Urbana-Champaign) Sewan Park (서울대학교) Kyuhwan Jung (서울대학교) Kyounghwan Na (한국과학기술연구원) Euisung Yoon (한국과학기술연구원)
저널정보
대한전자공학회 ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications ITC-CSCC : 2009
발행연도
2009.7
수록면
197 - 198 (2page)

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In this paper, a reliability modeling of vertically guided cantilever type MEMS probe card is proposed. A reliability issues are explained. Tribology is introduced to search wear phenomenon of probe tip. ... 전체 초록 보기
#probe card #wear #contact resistance

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