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CF4 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구 ( A study on dry etching process using CF4 Plasma )
대한전자공학회 학술대회
1986 .01
CF₄ 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1986 .12
플라즈마 공정을 이용한 완전한 건식리소그래피
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .11
파이로 건식 처리 공정 기술 개발
원자력산업
2009 .01
마이크로 웨이브 플라즈마를 이용한 CO₂ 건식개질의 공정최적화방안
한국에너지기후변화학회 학술대회
2015 .11
반도체 및 평판 디스플레이 산업에서의 진공 챔버 건식 세정을 위한 원격 플라즈마 생성 장치
전력전자학회 학술대회 논문집
2017 .07
Fabrication of soluble organic thin film transistor with ammonia ($NH_3$) plasma treatment
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2009 .01
대면적 플라즈마 공정을 위한 내장형 선형 안테나을 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
사용후핵연료 장기 건식저장 평가기술 개발 현황
한국방사성폐기물학회 학술대회
2012 .01
건식코팅 기술의 발전과 전망
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .05
자화된 평판형 유도 결합 플라즈마의 특성 및 건식 식각에의 응용
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .07
교류 회전 아크 플라즈마에 의한 메탄의 건식 개질반응
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .05
건식 플라즈마 코팅법에 의한 초발수 박막의 제작 및 형성메카니즘
한국마린엔지니어링학회 학술대회 논문집
2012 .06
다양한 폴리머 기판의 유도결합플라즈마 전처리
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
평판형 유도 결합 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .11
디스플레이 공정 플라즈마 기초
인포메이션 디스플레이
2015 .01
유도 결합 플라즈마를 이용한 백금 박막의 건식 식각시 산소 가스 첨가 효과
전기학회논문지 C
1999 .06
고온 플라즈마를 이용한 반도체 공정 발생 폐가스 처리시스템 개발
한국에너지기후변화학회 학술대회
2018 .11
ALD 공정에서의 플라즈마 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
전기아크 플라즈마 공정에 의한 병원폐기물 처리특성
대한환경공학회 학술발표논문집
1996 .12
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