CF4 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구 ( A study on dry etching process using CF4 Plasma )

김성철 ,  황기웅 ,  이종덕 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

CF₄ 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구

황기웅 ,  이종덕 ,  김성철 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1986 .12

플라즈마 공정을 이용한 완전한 건식리소그래피

김성오 ,  박복기 ,  김두석 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

파이로 건식 처리 공정 기술 개발

이한수

원자력산업

2009 .01

마이크로 웨이브 플라즈마를 이용한 CO₂ 건식개질의 공정최적화방안

김진호 ,  류재홍 ,  김효식 외 2명

한국에너지기후변화학회 학술대회

2015 .11

반도체 및 평판 디스플레이 산업에서의 진공 챔버 건식 세정을 위한 원격 플라즈마 생성 장치

이한용 ,  손정훈 ,  장보은 외 3명

전력전자학회 학술대회 논문집

2017 .07

Fabrication of soluble organic thin film transistor with ammonia ($NH_3$) plasma treatment

Kim ,  Dong-Woo ,  Kim 외 11명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2009 .01

대면적 플라즈마 공정을 위한 내장형 선형 안테나을 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구

임종혁 ,  김경남 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

사용후핵연료 장기 건식저장 평가기술 개발 현황

양용식 ,  김대호 ,  국동학 외 3명

한국방사성폐기물학회 학술대회

2012 .01

건식코팅 기술의 발전과 전망

정재인 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

자화된 평판형 유도 결합 플라즈마의 특성 및 건식 식각에의 응용

이수부 ,  박헌건 ,  이석현

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

교류 회전 아크 플라즈마에 의한 메탄의 건식 개질반응

최성일 ,  조성권 ,  김관태 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .05

건식 플라즈마 코팅법에 의한 초발수 박막의 제작 및 형성메카니즘

윤용섭

한국마린엔지니어링학회 학술대회 논문집

2012 .06

다양한 폴리머 기판의 유도결합플라즈마 전처리

한영훈 ,  정승재 ,  이정중

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

평판형 유도 결합 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

김문영 ,  김태현 ,  장상훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

디스플레이 공정 플라즈마 기초

김동환 ,  정진욱

인포메이션 디스플레이

2015 .01

유도 결합 플라즈마를 이용한 백금 박막의 건식 식각시 산소 가스 첨가 효과

金南勳 ,  金昌日 ,  權光虎 외 1명

전기학회논문지 C

1999 .06

고온 플라즈마를 이용한 반도체 공정 발생 폐가스 처리시스템 개발

황상연 ,  엄성현 ,  차우병

한국에너지기후변화학회 학술대회

2018 .11

ALD 공정에서의 플라즈마 응용

이우재 ,  윤혜원 ,  이동권 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

전기아크 플라즈마 공정에 의한 병원폐기물 처리특성

구자공 ,  정재우 ,  김성관 외 1명

대한환경공학회 학술발표논문집

1996 .12