자화된 플라즈마의 특성 및 식각에의 응용

신경섭 ,  이호준 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

자화된 유도 결합 열 플라즈마의 특성 연구

申泓旻 ,  崔景喆 ,  金元圭 외 1명

전기학회논문지

1993 .04

자화된 평판형 유도 결합 SF₆ 플라즈마의 특성

윤차근 ,  도현호 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .11

평판형 유도 결합 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

김문영 ,  김태현 ,  장상훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )

김영환 ,  김창일

전자공학회논문지-SD

2001 .09

유도 결합형 열 플라즈마의 특성 연구

신홍민 ,  최경철 ,  김원규 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

자화 유도 결합형 CH₄/H₂/Ar 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

金文永 ,  沈鍾庚 ,  太興植 외 4명

전기학회논문지 C

2000 .04

평판 유도 결합형 CH₄/H₂/Ar 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

金文永 ,  白榮植 ,  太興植 외 3명

전기학회논문지 C

1999 .09

유도 결합 플라즈마를 이용한 백금 박막의 건식 식각시 산소 가스 첨가 효과

金南勳 ,  金昌日 ,  權光虎 외 1명

전기학회논문지 C

1999 .06

Enhanced Inductively Coupled Plasma의 자화 주파수 의존 특성

라상호 ,  박세근 ,  오범환

대한전자공학회 학술대회

2000 .06

$Cl_2/O_2$ 유도결합형 플라즈마 특성 및 실리콘 식각에의 응용

김현수 ,  이주훈 ,  오경희 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

자화된 유도 결합형 플라즈마를 이용한 다이아몬드성 탄소박막 증착

김중균 ,  이호준 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .11

평판 유도 결합형 CH₄/H₂/Ar 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각에서 공정 변수가 저항성 접촉 형성에 미치는 영향

金文永 ,  太興植 ,  李昈駿 외 3명

전기학회논문지 C

2000 .08

Dry etching of BST thin films using inductively coupled plasma

김관하 ,  김경태 ,  김창일 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2004 .11

유도결합형 플라즈마를 이용한 ITO 식각 특성

박준용 ,  김정식 ,  김현수 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .05

Etching characteristics of Al-Nd alloy thin films using magnetized inductively coupled plasma

Y.J. Lee ,  H.R. Han ,  G.Y. Yeom

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

컷오프 탐침법을 이용한 자화유도결합 플라즈마 특성 연구

손의정 ,  김동현 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2016 .07

컷오프 탐침법을 이용한 자화유도결합 플라즈마 특성 연구

손의정 ,  김동현 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2016 .10

범용성 유도결합 플라즈마 식각장비를 이용한 깊은 실리콘 식각

오범환 ,  박세근 ,  조수범

전기전자재료학회논문지

2004 .01

유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구

손의정 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2017 .10