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은경택 (서울산업대학교) 황우진 (서울산업대학교) 고윤덕 (성균관대학교) 손동진 (성균관대학교) 김용성 (서울산업대학교) 좌성훈 (서울산업대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2010년도 춘계학술대회 및 녹색성장을 위한 표면처리 기술 워크숍
발행연도
2010.5
수록면
93 - 94 (2page)

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본 연구에서는 고가의 In 함량을 염가의 Zn으로 치환시킨 In₂O₃(70wt.%)-ZnO(15wt.%)-SnO₂(15wt.%)의 indium이 15~20wt.% 절감된 IZTO target을 제조하여 pulsed DC magnetron sputtering 방법으로 ... 전체 초록 보기

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