Study of silicon deep via etching mechanism using in-situ temperature monitoring of silicon exposed to SF₆/O₂ plasma discharge

임영대; 이승환; 유원종; 정오진; 이한춘

추천

검색

질문

자료유형: 학술대회자료

저자정보: 임영대 (성균관대학교) 이승환 (성균관대학교) 유원종 (성균관대학교) 정오진 (동부하이텍) 이한춘 (동부하이텍)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2009년도 추계학술대회 및 녹색성장 친환경 표면처리 워크숍

발행연도: 2009.10

수록면: 116 - 117 (2page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

Study on deep Si etching mechanism using in-situ surface temperature monitoring in SF₆/O₂ plasma

임영대 , 이승환 , 유원종 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

2009

Study of silicon deep via etching mechanism using in-situ temperature monitoring of silicon exposed to SF₆/O₂ plasma discharge

임영대 , 이승환 , 유원종 외 2명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2009.10 학술대회자료

이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
이 논문의 연구 히스토리 확인하기

초록· 키워드

오류제보하기

식각 공정변화 즉 상부 ICP 파워, 반응기 압력, 실리콘 기판 온도변화에 따른 실리콘 딥 비어 (deep via) 의 형상 변화 메커니즘을 연구하였다. 메커니즘을 연구하기 위해 SF?/O₂ 플라즈마에 노출된 실리콘 기판의 공정변화에 따른 표면 온도변화를 실시간으로 측정하여 플라즈마 내 positive ions의 거동을 분석하였다. 실리콘 기판의 표면온도를 상승시키는 주된 요인은 positiveions임을 확인할 수 있 ... 전체 초록 보기

참고문헌 (0)

참고문헌 신청

참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

임영대

소속기관 삼성전자

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 14 이용수 377

이승환

소속기관 한국항공대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 의약학 > 한의학

논문수 33 이용수 1,084

유원종

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 54 이용수 1,723

정오진

소속기관 동부하이텍

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 2 이용수 45

이한춘

소속기관 동부하이텍

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 2 이용수 45

이 논문과 함께 이용한 논문

Fabrication of Novel Metal Field Emitter Arrays(FEAs) Using Isotropic Silicon Etching and Oxidation

Chang-Woo Oh , Chun-Gyoo Lee , Byung-Gook Pa 외 3명 Journal of Electrical Engineering and information Science 1997 .12

Study of the Amorphous Silicon Etching Mechanism Using Pin Type Dielectric Barrier Discharge

G. Y. Yeom 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2008 .06

빠른 실리콘 식각에 대한 F₂/Ar 리모트 플라즈마와 N₂와NO 첨가효과

윤영배 , 박성민 , 이내응 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2006 .10

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-581-004006603

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

이 논문의 연구 히스토리 (2)

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (0)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)