실리콘 마이크로머시닝을 위한 자기 정렬 특성을 갖는 새로운 실리콘 식각방법과 식각특성분석

李熙德 ,  金載官 ,  鄭訓周 외 1명

전기학회논문지

1996 .10

MEMS 응용을 위한 Ar⁺ 이온 레이저에 의한 단결정/다결정 실리콘 식각 특성

李賢基 ,  韓承㞰 ,  朴政浩 외 1명

전기학회논문지 C

1999 .05

집속 아르곤 이온 레이저 빔을 이용한 미세 구리 패턴의 형성

이홍규 ,  이천

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2000 .01

스캔 방법을 이용한 식각 공정상의 이온 플럭스 계산

신성식 ,  정승한 ,  권오봉

한국정보과학회 학술발표논문집

2013 .06

집속이온빔의 공정조건이 실리콘 가공에 미치는 영향

김준현 ,  송춘삼 ,  김주현 외 2명

한국생산제조학회지

2007 .04

집속 이온빔 기술

윤관호 ,  노준석

기계저널

2017 .01

실리콘 마이크로 머시닝을 위한 2단계 전기화학적 실리콘 식각 방법 ( Two-Step Electrochemical Silicon Etching Method for Silicon Micromachining )

김재관 ,  이희덕 ,  한철희

대한전자공학회 학술대회

1996 .07

Thermal Analysis of a Silicon Wafer during Plasma Etching

Y. A. Lin ,  Chin Pan

Heat Transfer Conference

1998 .08

단결정 실리콘의 이방성 식각특성 ( Anisotropic Etching Property of Silicon-Crystal Silicon )

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .07

단결정 실리콘의 이방성 식각특성

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .06

레이저를 이용한 미세에칭에 관한 연구

박준민 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2001 .05

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

플라즈마 식각방법에 의한 단결정 실리콘의 Two-Step 식각특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-Si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  김말문 외 1명

전자공학회논문지

1987 .01

Study of silicon deep via etching mechanism using in-situ temperature monitoring of silicon exposed to SF₆/O₂ plasma discharge

임영대 ,  이승환 ,  유원종 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .10

플라즈마 식각 방법에 의한 단결성 실리콘의 Two-Step 식각 특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  남기수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

WAFER와 전극 사이의 GAP이 식각 특성에 미치는 영향 ( Effects of a Gap Between a Wafer and an Electrode on Etch Characteristics )

김근태 ,  성노영 ,  윤용혁 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

Laser-Induced Maskless wet Etching of Silicon Wafer

Jae Hoon Cheong ,  Se Ki Pa ,  k 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Cl/HBr/O 고밀도 플라즈마에서 비정질 실리콘 게이트 식각공정 특성

이원규

화학공학

2009 .01

식각액에 따른 용융실리카의 레이저 습식 식각 특성 비교 연구

이종호 ,  이종길 ,  전병희

소성·가공

2004 .04

반도체 공정에 적합한 실리콘 이방성 식각에 관한 연구

정귀상 ,  박진성

대한전자공학회 학술대회

1996 .11