반도체 공정중 ILD HDP 공정 safety idle 조건개선으로 정체에 의한 불량 개선 연구

윤성훈 ,  김충환 ,  김형준 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .05

다결정 실리콘 박막 트렌지스터의 self-heating 효과를 감소시키기 위한 ILD 구조 개선

박수정 ,  문국철 ,  한민구

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .11

Reduction of Plasma Process Induced Damage during HDP IMD Deposition

Yong Jin Seo ,  Sang Yong Kim ,  Woo-Sun Lee

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2002 .01

Deep Learning-Based Sound Localization Using Stereo Signals Based on Synchronized ILD

Hwang ,  Hyeon Tae ,  Yun 외 3명

International journal of internet, broadcasting and communication : IJIBC

2019 .01

ILD DISTORTION을 이용한 MPEG SURROUND의 음질 개선

전상배 ,  최인용 ,  성굉모

대한전자공학회 학술대회

2006 .06

CCD , BBD등의 전하결합소자를 이용한 시스템의 설계와 제작

김오현

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

Failure Analysis for High via Resistance by HDP CVD System for IMD Layer

Hun-SangChung ,  Sang-YongKim ,  Yong-JinSeo

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2002 .01

BDD를 이용한 논리 검증 시스템의 설계 ( Design of a Logic Verification System Using BBD )

허훈 ,  정용준 ,  황선영

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

Sub-Half-Micrometer MOFET 구현을 위한 ILD구조에 관한 연구

홍재희 ,  이종원 ,  윤혁수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

ELECTROMIGRATION STUDY OF Al THIN FILMS DEPOSITED ON LOW DIELECTRIC POLYIMIDE AND $SiO_2$ ILD

Eun ,  B.S. ,  Kim 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

ILD용 organosilicate 박막의 기계적 물성 연구

김대환 ,  조은범 ,  차국헌

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1999 .10

0.18μm 세대 이후의 층간 절연 물질 ( ILD ) 연구 동향

이석형 ,  유재윤 ,  양성훈 외 1명

전자공학회지

1997 .06

DRAM 80㎚이하 ILD HDP OXIDE GAP FILL능력 향상 및 VOID개선에 대한 연구

송윤섭 ,  김정열 ,  이석형

대한전자공학회 학술대회

2008 .11

Experimental and Numerical Analysis of A Novel Ceria Based Abrasive Slurry for Interlayer Dielectric Chemical Mechanical Planarization

Yun Zhuang ,  Yun Zhuang ,  Leona 외 18명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2007 .01

층간절연막으로서 저유전박막 폴리이미드와 금속의 전기적 특성

이문근 ,  이곤재 ,  최덕균

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .11

HDP CVD에서 공정 가스 유량 감소에 따른 D/S ratio의 변화에 의한 Gap-fil 특성 확인

박신근 ,  서창수 ,  지상엽 외 6명

대한전자공학회 학술대회

2015 .06

Multiple-inputs Dual-outputs Process Characterization and Optimization of HDP-CVD SiO₂ Deposition

Sang Jeen Hong ,  Jong Ha Hwang ,  Sang Hyun Chun 외 1명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2011 .09

MP-ILD(Micro-Power Inductive Loop Detector) 기술 기반의 주차정보 시스템 개발

이정준

대한교통학회 학술대회지

2009 .10

패턴 웨이퍼의 화학기계적 연마시 패턴 밀도의 영향과 모델링에 관한 연구

홍기식 ,  김형재 ,  정해도

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2002 .01