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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.5
- 수록면
- 459 - 465 (7page)
이용수
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반도체 제조를 위한 공정에서는 과도한 열이 발생한다. 따라서 Chamber 내의 웨이퍼나 주변온도를 일정하게 유지할 수 있도록 온도의 정밀제어가 요구된다. 반도체 칠러는 산업용 칠러와는 다르게 운전조건이 24시간 년중 지속되므로 반도체 칠러는 전력소비량이 대단히 크며, 냉동기의 최적 운전제어를 통한 저소비전력 칠러 개발이 대단히 필요하다. 국내에서 판매되고 있는 반도체 칠러는 수입품에 비해 전력소비가 높아 제품 경쟁력이 낮은 실정이다. 이에 따라 본 연구에서는 국내에서 개발된 반도체 칠러에 관한 실험적 연구를 통하여 칠러의 부하변화 실험, 온도 상승 하강실험, 제어정밀도 실험 등을 통하여 칠러의 에너지절감 방향을 제시하고자 한다. 실험을 통하여 칠러의 냉각능력은 2.1~3.9 ㎾, EER은 0.56~0.93으로 측정되었다. 제어정밀도는 0℃에서 ±1℃, 30℃ 이상 설정에서는 ±0.6℃로 향상되는 것으로 나타났다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (9)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Park, S. N / 1999 / Performance of Autocascade Refrigeration System Using Carbon Dioxide and R134a / Korean Journal of Airconditioning and Refrigeration Engineering 11 (6) : 880 ~ 890
2. [학술지(정기간행물)] - Prenger, F.C / 1996 / Nitrogen Heat Pipe for Cryocooler Thermal Shunt / Advances in cryogenic engineering 41 : 147 ~ 154
3. [학술지(정기간행물)] - Khatri, A / 1997 / A Throttle Cycle Cryocooler Operating with Mixed Gas Refrigerant in 70 K to 120 K Temperature Range / Cryocoolers 9 : 515 ~ 520
4. [학술대회논문] - Cha, D. A / 2010 / An Experimental Study on Semiconductor Process Chiller for Energy Saving / Proceeding of the KSME Spring Annual Conference : 371 ~ 376
6. [학술지(정기간행물)] - Mori, S / 1986 / Refrigeration Apparatus Using Nonazeotropic Refrigerant Mixture / Refrigeration 61 (702) : 1 ~ 8
2. [학술지(정기간행물)] - Prenger, F.C / 1996 / Nitrogen Heat Pipe for Cryocooler Thermal Shunt / Advances in cryogenic engineering 41 : 147 ~ 154
3. [학술지(정기간행물)] - Khatri, A / 1997 / A Throttle Cycle Cryocooler Operating with Mixed Gas Refrigerant in 70 K to 120 K Temperature Range / Cryocoolers 9 : 515 ~ 520
4. [학술대회논문] - Cha, D. A / 2010 / An Experimental Study on Semiconductor Process Chiller for Energy Saving / Proceeding of the KSME Spring Annual Conference : 371 ~ 376
6. [학술지(정기간행물)] - Mori, S / 1986 / Refrigeration Apparatus Using Nonazeotropic Refrigerant Mixture / Refrigeration 61 (702) : 1 ~ 8
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