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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
강전홍 (한국표준과학연구원) 유광민 (한국표준과학연구원) 구경완 (호서대학교) 한상옥 (충남대학교)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제60권 제7호
발행연도
2011.7
수록면
1,434 - 1,437 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2011

Single-configuration FPP method에 의한 실리콘 웨이퍼의 비저항 정밀측정
강전홍 ,  유광민 ,  구경완 외 1명 전기학회논문지 2011.07 학술저널

2010

Four-Point Probe method를 이용한 실리콘 웨이퍼의 비저항 정밀측정
강전홍 ,  유광민 ,  한상옥 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2010.11 학술대회자료

2006

Four Point Probe 방법을 이용한 전기비저항의 두께효과
강전홍 ,  김한준 ,  유광민 외 4명 대한전기학회 학술대회 논문집 2006.07 학술대회자료

초록· 키워드

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Precision measurement of silicon wafer resistivity has been using single-configuration Four-Point Probe(FPP) method. This FPP method have to applying sample size, shape and thickness correction factor for a probe pin spacing to precision measurement of silicon wafer. The deference for resistivity measurement values applied correction factor and not applied correction factor was about 1.0 % deviation. The sample size, shape and thickness correction factor for a probe pin spacing have an effects on precision measurement for resistivity of silicon wafer.
#Four-point probe method #Single-configuration #Col-linear four point probe #Resistivity #Sheet resistance #Silicon wafer #Accuracy #Uncertainty

목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
참고문헌
저자소개

참고문헌 (11)

참고문헌 신청
Arther Uhlir, JR / 1954 / The Potentials of Infinite Systems of Sources and Numerical Solutions of Problems in Semiconductor Engineering / Bell System Technical Journal 34(1):105~128 google schola L.B.Valdes / 1954 / Resistivity Measurements on Germanium for Transistors / Proceedings of the Institute of Radio Engineers New York 42:420~427 google schola VF. M. SMITS / 1958 / Measurement of Sheet Resistivities with the Four-Point Probe / Proceedings of the Institute of Radio Engineers :711~718 google schola Test Method for Measuring Resistivity of Silicon Wafers with In-Line Four-Point Probe google schola Lydon J. Swartzendruber / 1964 / Correction Factor Tables for Four-Point Probe Resistivity Measurements on Thin, Circular Semiconductor Samples google schola

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

Dual-Configuration Four-Point Probe Method에 의한 휴대형 면저항 측정기 개발
강전홍 ,  유광민 ,  김완섭 전기학회논문지 P 2010 .12
면적 저항 측정을 위한 Four Point Probe 자동화 시스템의 구현 ( Automatic System Development of 4-Point Probe for Sheet Resistance Measurement )
손승철 ,  송영진 ,  박화식 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1990 .01
반도체 웨이퍼 면저항 측정기의 설계제작
강전홍 ,  김한준 ,  한상옥 외 2명 대한전기학회 학술대회 논문집 2005 .07
실리콘 웨이퍼 비저항에 따른 Dopant-Free Silicon Heterojunction 태양전지 특성 연구
김성해 ,  이정호 한국표면공학회지 2018 .06
패시베이션 처리된 n-형 결정질 실리콘 기판의 비저항에 따른 태양전지 특성 변화
원치현 ,  이준신 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 2011 .11

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