메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
강전홍 (한국표준과학연구원) 유광민 (한국표준과학연구원) 한상옥 (충남대학교) 구경완 (호서대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2010 대한전기학회 전기설비부문회 추계학술대회 논문집
발행연도
2010.11
수록면
389 - 391 (3page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (3)

2011

Single-configuration FPP method에 의한 실리콘 웨이퍼의 비저항 정밀측정
강전홍 ,  유광민 ,  구경완 외 1명 전기학회논문지 2011.07 학술저널

2010

Four-Point Probe method를 이용한 실리콘 웨이퍼의 비저항 정밀측정
강전홍 ,  유광민 ,  한상옥 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2010.11 학술대회자료

2006

Four Point Probe 방법을 이용한 전기비저항의 두께효과
강전홍 ,  김한준 ,  유광민 외 4명 대한전기학회 학술대회 논문집 2006.07 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
실리콘 웨이퍼의 비저항 정밀측정은 일반적으로 Four-Point Probe(FPP) method의 single-configuration 기술을 이용하여 측정한다. 이 측정방법은 시료의 표면에 프로브를 접촉시키면 실리콘 웨이퍼의 비저항을 쉽게 측정할 수 있는 방법이 ... 전체 초록 보기

목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
[참고문헌]

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

금속 전기비저항의 정밀측정에 관한 연구
강전홍 ,  유광민 ,  김한준 외 3명 대한전기학회 학술대회 논문집 2007 .04
Four Point Probe 방법을 이용한 전기비저항의 두께효과
강전홍 ,  김한준 ,  유광민 외 4명 대한전기학회 학술대회 논문집 2006 .07
van der Pauw와 four point probe 방법에 의한 반도체 웨이퍼의 면저항 비교
강전홍 ,  김한준 ,  유광민 외 4명 대한전기학회 학술대회 논문집 2004 .07
액체소듐 및 소듐-탄산소듐혼합물의 전기전도도 특성
최병철 ,  위명환 ,  이춘범 외 2명 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 2015 .11
전기적-미세역학시험법과 음향방출을 이용한 단일 탄소섬유/탄소나노튜브-에폭시 나노복합재료의 자체-감지능
박종만 ,  장정훈 ,  왕작가 외 3명 비파괴검사학회지 2010 .10

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-560-003973522