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이용수
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 3차원 몬테카를로 스퍼터 시뮬레이터의 구성
Ⅲ. 타겟 내부에서의 원자 산란 메커니즘
Ⅳ. 결과 및 분석
Ⅴ. 결론
참고문헌
저자소개
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