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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.2
- 수록면
- 117 - 123 (7page)
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본 연구에서는 벌지 실험과 나노 압입 실험을 통해 박막의 기계적 물성을 측정하였다. 벌지 실험은 외적 지지구조를 가지지 않는 박막 시편의 한 면에 일정한 압력을 가하여 박막의 변위를 측정, 압력과 변위의 관계를 이용하여 박막의 기계적 물성을 측정하는 실험이다. 나노 압입 실험은 시편에 압입 방향으로의 하중과 시편의 표면으로부터 압입자의 깊이에 대한 데이터를 통하여 시편의 기계적 물성을 측정하는 실험으로 modified King’s model 을 이용하여 모재의 영향이 고려된 박막의 물성을 구할 수 있다. 두 실험은 탄성 계수와 푸아송비의 수학적 관계가 다르기 때문에 벌지 실험과 나노 압입 실험결과로부터 박막의 탄성계수와 푸아송비를 동시에 측정할 수 있다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 기본 이론
3. 실험 장비 및 결과
4. 실험 결과
5. 결론
참고문헌
참고문헌 (23)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Ding, J. N. / 2000 / Specimen Size Effect on Mechanical Properties of Polysilicon Microcantilever Beams Measured by Deflection Using a Nanoindenter / Mater. Sci. Eng. B83 : 42 ~ 47
2. [학술지(정기간행물)] - Jayaraman, S. / 1999 / Relating Mechanical Testing and MicrostructuralFeatures of Polysilicon Thin Films / Journal of MaterialsResearch 14 (3) : 688 ~ 697
3. [학술지(정기간행물)] - 이광렬 / 199901 / Determination of elastic modulus and Poisson's ratio of diamond-like carbon films / Thin solid films 341 : 207 ~ 210
4. [학술지(정기간행물)] - Zhao, J.-H. / 1999 / Measurement of Elastic Modulus, Poisson Ratio, andCoefficient of Thermal Expansion of on-WaferSubmicron Films / Journal of Applied Physics 85 : 6421 ~ 6424
5. [학술지(정기간행물)] - Bhushan, B. / 2003 / A Technique to Measure Poisson's Ratio of Ultrathin Polymeric Films Using Atomic Force Microscopy / Review of Scientific Instruments 74 (2) : 1043 ~ 1047
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3. [학술지(정기간행물)] - 이광렬 / 199901 / Determination of elastic modulus and Poisson's ratio of diamond-like carbon films / Thin solid films 341 : 207 ~ 210
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