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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험장치 설계 및 제작
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌
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PZT-5A 탐촉자의 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .07
PZT(10/90)/PZT(90/10) 이종층 박막의 구조적, 전기적 특성
전기학회논문지 C
2000 .02
Bimorph PZT를 이용한 고밀도 광학헤드의 정밀위치 및 간극제어
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2004 .05
PZT 캔틸레버의 길이와 면적에 따른 에너지 하베스팅 장치의 출력 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2008 .07
Micro Power Properties of Harvesting Devices as a Function of PZT cantilever length and gross area
대한전기학회 학술대회 논문집
2008 .07
압전 캔틸레버 소자를 이용한 에너지 수확의 관한 연구
한국통신학회 학술대회논문집
2016 .11
고밀도 광학헤드를 위한 Bimorph 압전 액추에이터의 동특성 해석 및 위치제어
한국소음진동공학회논문집
2005 .01
초고집적회로의 커패시터용 PZT 박막의 입열 조건에 따른 유전특성 - 1 - 비정질 PZT를 사용한 PZT 박막의 누설전류 개선에 관한 연구 ( Dielectric properties with heat-input condition of PZT thin films for ULSI`s capacitor - 1- A study on the improvement of leakage current of PZT thin films using a amorphous PZT layer )
전자공학회논문지-A
1995 .12
PZT 후막의 미세 구조적 특성에 조성과 전구체 용액의 코팅이미치는 영향
전기전자재료학회논문지
2006 .01
PZT(5/95)PZT(95/5) 이종층 박막의 코팅횟수에 따른 구조적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2009 .11
PZT 후막 캔틸레버를 이용한 바이오칩용 미세 무게 감지 소자
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
프로브 기반 나노 정보 저장 장치에 쓰이는 열-압전 캔틸레버와 CMOS 웨이퍼와의 집적화 단계에서 발생하는 PZT 열화에 대한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2008 .01
PZT 압전 재료의 인장 물성 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2010 .05
PZT 순수박막과 PZT/PT 교차박막의 적외선 감지 특성 비교
대한기계학회 논문집 A권
2002 .06
RF-마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 이층형 PZT의 특성평가
한국산학기술학회 논문지
2020 .08
A Micro Gas Pump Actuated by PZT-Bimorphs and Its Process Flow Design
대한전자공학회 ISOCC
2004 .10
PZT(20/80)/PZT(80/20) 이종층 후막의 유전특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .07
솔젤법에 의한 제작된 PZT 박막의 특성
전기학회논문지 P
2001 .12
다층 PZT(20/80)후막과 PZT(80/20)박막의 소결온도에 따른 전기적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
다층 PZT(20/80)후막과 PZT(80/20)박막의 소결온도에 따른 전기적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
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