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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이승현 (금오공과대학교) 최성대 (금오공과대학교) 이종형 (금오공과대학교)
저널정보
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제11권 제3호
발행연도
2012.6
수록면
138 - 145 (8page)

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The material used in this study is dielectric and ferrite. Because of the unique characteristics of the material, it is easily exposed to external shocks and pressure, which cause damage to the product. However, after being processed under high-temperature environment repeatedly, the mechanical strength of the product is greatly increased due to the change of the electrical properties. In this paper, dielectric and bonded ferrite material was tested for the material properties. The equipment for this experiment was produced and tested to allow Cylindrical and Three-dimensional geometry of the product for the vacuum deposition. For Cylindrical shape of the product, in order to obtain the equivalent film thickness, the device is constructed in a vacuum chamber which gives arbitrary revolving and rotating capability. The electrical performance of the product is obtained through this process as well. However, as mentioned above, with repeating processes under high temperature and exposure to external environment, the product is easy to be broken. This experiment has enabled us to find out a stable condition to apply the communication of the RF high frequency to each of the core elements, such as Ferrite and Dielectric which is then used for the mechanical strength of the Raw material, hetero-junction material, Hetero-junction Ag Coating material and hetero-junction Ag Coating SiO<SUB>2</SUB> Coating material respectively.
#Sputtering(진공증착) #Vacuum Chamber(진공로) #Dielectric(유전체) #Ferrite(페라이트) #Orbital/Rotation(공전, 자전) #Target(SiO< #SUB> #2< #/SUB> #/Ag) #DCMagnetron Sputtering #RFMagnetron Sputtering sputtering deposition(Sputtering 증착) #Magnetic Isotropic(자기 등방성) #Magnetic Anisotropy(자기 이방성)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과
4. 결론
후기
참고문헌

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