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DC 마그네트론 스퍼터링 증착법을 이용한 산화 티타늄 박막의 표면 형태와 조성 제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
EMF (electromagnetic field strength)가 스퍼터된 ITO 박막의 초기 성장에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
TSV용 스퍼터 테스트 카트 디자인
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
파일럿 롤투롤 스퍼터로 증착한 OMO 구조 ITO/Ag/ITO 필름의 발열 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
개선된 진공 배기 성능과 저손상 전처리 장치가 장착된 롤투롤 스퍼터 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
파일럿 롤투롤 스퍼터로 증착한 plasma polymer/inorganic 다층박막의 반사방지 및 발수 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
투명 면상 발열체 응용을 위한 하이브리드 스퍼터 ITO / Ag / ITO 박막의 물성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
스퍼터 및 CVD 공정을 통한 대면적 텍스쳐 기판에서의 균일한 페로브스카이트 박막 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
2D PIC 시뮬레이션을 이용한 마그네트론 스퍼터링 증착 공정의 이온 특성 변화 분석 및 증착 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
대면적 Roll to Roll 스퍼터를 이용하여 제작한 ITO-Cu-ITO 다층 전극의 유연 투명 히터 적용 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 성장된 V₂O5 박막의 광학적 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
스퍼터 장치로 제조된 나노다층박막의 미세구조 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
RF 마그네트론 CO-Sputtering 시스템을 이용하여 증착된 TiAlNX 박막의 최적 공정 및 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
[보호진공과학상] RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO:Al 박막의 열공정에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
선형대향타겟 스퍼터를 이용하여 성막시킨 InSnTiO 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 증착된 BiFeO₃-CoFe₂O₄ 나노복합체 박막의 자성 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2017 .05
3차원 입자-셀 시뮬레이션을 이용한 방위각 비대칭 자석을 사용한 마그네트론 스퍼터링 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
터치스크린 패널의 국부 단선 수리를 위한 LIFT 기법 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
RF-마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 다층구조의 마그네타이트 에피 박막성장의 최적화에 대한 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2015 .05
Cu2ZnSnS4 박막 및 소자 특성에 대한 전구체에 Zn 또는 ZnS 타겟을 사용 했을 때의 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
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