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류재용 (한국원자력연구원) 김종범 (한국원자력연구원) 최창용 (한국원자력연구원) 이상준 (평택대학교) 곽희성 (한국원자력연구원) 윤영민 (한국원자력연구원)
저널정보
한국대기환경학회 한국대기환경학회지(국문) 한국대기환경학회지 제28권 제4호
발행연도
2012.8
수록면
446 - 453 (8page)

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Destruction and removal efficiency (DRE) of SF? was tested with varying degrees of ionization and initial concentrations of SF?. The applied dose of ionization energy varied from 0 to 400 k㏉. The initial concentration of SF? gas also varied from 1,000 ppm to 2,500 ppm. In order to assess the effect of a residence time on DRE (Destruction and Removal Efficiency, %), experiments were also conducted at different irradiation times of 3, 5, 10, 15, and 20 sec, respectively. The DRE of SF6 increased with an increasing amount of dose and current. Regardless of initial concentration of SF?, 90% level of DRE was achieved by applying over 10 ㎃ of electrical current.
#Sulfur Hexafluoride (SF₆) #Etching process #High ionization energy #Global Warming

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
참고문헌

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