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이용수
요약
1. 서론
2. 동특성과 로버스트설계
3. 패터닝 공정
4. 박막형성 공정
5. 논의
참고문헌
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기타자료
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한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
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한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2013 .10
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한국소음진동공학회 학술대회논문집
2010 .10
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