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반도체 생산공정의 제조생산성 및 자동화
제어로봇시스템학회지
1998 .07
반도체제조의 생산성 제고를 위한 반도체 공정 주변기술
[ETRI] 전자통신동향분석
1988 .03
반도체 생산시스템의 공정운영 분석 및 관리제어
제어로봇시스템학회지
1998 .07
반도체 제조공정에서의 환경제어 기술
대한기계학회지
1993 .02
모듈생산시스템에서의 가중 혼합 할당규칙 연구
산업경영시스템학회지
2004 .01
반도체 제조공정에서의 입자제어
기계저널
2012 .05
[반도체생산자동화 연구회] 반도체 제조장치 및 공정의 최신 동향
제어로봇시스템학회지
2005 .03
반도체 제조공정의 자동화 기술 동향
전자공학회지
1987 .08
반도체 제조공정 배가스 처리기술
공기청정기술
2001 .01
반도체 제조공정에서 오염분석 기술과 응용
공기청정기술
2006 .01
반도체 T/F 공정의 생산 일정 계획 시스템
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
1995 .10
반도체 집적회로 제조 공정에서의 최적생산계획
제어로봇시스템학회지
2001 .07
반도체 제조공정의 오염제어기술 및 사례
대한설비공학회 강연회 및 기타간행물
1993 .11
데이터 기반의 핵심 반도체 제조 공정 선정에 관한 연구
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2017 .11
새로운 반도체 제조장치의 구성법 = 저비용$\cdot$고생산성 반도체 제조라인 실현을 목표로 =
공기청정기술
2001 .01
반도체 제조공정의 조립자동화 기술
전기의세계
1990 .06
반도체에 관하여
전자공학회지
1965 .07
반도체 생산 장비의 모델링과 공정제어
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
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