Throughput Analysis for Dual Blade Robot Cluster Tool

Sun Joong Ryu

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: Sun Joong Ryu (삼성전기)

저널정보: 제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 논문지 제어로봇시스템학회 논문지 제15권 제12호

발행연도: 2009.12

수록면: 1,240 - 1,245 (6page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

The throughput characteristics of the cluster tool with dual blade robot are analyzed. Using equipment’s cycle time chart of the equipment, simple analytic form of the throughput is derived. Then, several important throughput characteristics are analyzed by the throughput formula. First, utilization of the process chamber and the robot are maximized by assigning the equipment to the process whose processing time is near the critical process time. Second, rule for selecting optimal number of process chambers is suggested. It is desirable to select a single process chamber plus a single robot structure for relatively short time process and multi process chambers plus a single robot, namely cluster tool for relatively long time process. Third, throughput variation between equipments due to the wafer transfer time variation is analyzed, especially for the process whose processing time is less than critical process time. And the throughput and the wafer transfer time of the equipments in our fabrication line are measured and compared to the analysis.

#cluster tool #throughput #FAB #dry etch

참고문헌 (4)

참고문헌 신청

1. [학술지(정기간행물)] - T. L. Perkins / 1994 / Single-wafer cluster tool performance: an analysis of throughput / IEEE Trans. Semiconductor Manufacturing 7 (3) : 369 ~ 373

2. [학술지(정기간행물)] - S. V. Venkatesh / 1997 / A steady-state throughput analysis of cluster tools: dual-blade versus single-blade robots / IEEE Trans. Semiconductor Manufacturing 10 (4) : 418 ~ 423

3. [학술지(정기간행물)] - 홍주표 / 2008 / 쌍 체임버 기반 장비의 로드락 구성에 따른 생산성 분석 / 반도체디스플레이기술학회지 7 (2) : 39 ~ 43

4. [학술지(정기간행물)] - C. Chu / 2008 / A petri net method for schedulability and scheduling problems in single-arm cluster tools with wafer residency time constraints / IEEE Trans. Semiconductor Manufacturing 21 (2)

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

유선중

소속기관 동양미래대학교 기계공학과

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학 자연과학 > 물리학

논문수 13 이용수 341

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2013-569-003295900

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (4)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

댓글(0)