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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
홍주표 (한국기술교육대학교 디자인공학과) 이기석 (공주대학교 기계자동차공학부)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제7권 제2호
발행연도
2008.1
수록면
39 - 43 (5page)

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Productivity is one of the performance indices of the semiconductor equipment in manufacturing viewpoint. Among many ways tried and adopted for improvement of the productivity of the FAB equipment, variation of equipment configuration was considered and its effect on the throughput was analyzed. Parallel machine cycle charts that were generated based on the equipment log were used in the analysis. Efficiency of the equipment due to change of the structure and the probability of the usage in the manufacturing process were examined. The results showed that the modification of the control algorithm in the equipment and the redistribution of the process time for each process and transfer module along to the change in the structure enhance the throughput of the equipment.
#throughput analysis #equipment configuration #machine cycle chart #MCC) #cycle time #CT)

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