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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 제어로봇시스템학회 International Journal of Control, Automation, and Systems International Journal of Control, Automation, and Systems 제3권 제3호
- 발행연도
- 2005.9
- 수록면
- 477 - 485 (9page)
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목차
Abstract
1. INTRODUCTION
2. DEVELOPMENT OF PZT ACTUATING TYPE MICRO TENSILE TESTING MACHINE USING THE COMPENSATING NONLINEARITY METHOD
3. MICRO TENSILE TESTING FOR NICKEL THIN FILM
4. MICRO TENSILE TESTING FOR SCS MATERIAL
5. CONCLUSION
REFERENCES
참고문헌 (9)
참고문헌 신청
, , Characteristics of ZnO thin film deposited on various metal bottom electrodes 9 : 383 ~ 387
, 1997. , Tensile testing of thin film microstructures Proc. of SPIE 3224 : 344 ~ 351
, 1998. , Specimen size effect on tensile strength of surface-micromachined polycrystalline silicon thin films 7 : 106 ~ 113
, 1997. , Measurement of mechanical properties of microfabricated thin film Proc. of IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop : 430 ~ 435
, 1998. , Mechanical properties of thin polysilicon films by means of probe microscopy Proc. of SPIE 3512 : 66 ~ 75
, 1997. , Tensile testing of thin film microstructures Proc. of SPIE 3224 : 344 ~ 351
, 1998. , Specimen size effect on tensile strength of surface-micromachined polycrystalline silicon thin films 7 : 106 ~ 113
, 1997. , Measurement of mechanical properties of microfabricated thin film Proc. of IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop : 430 ~ 435
, 1998. , Mechanical properties of thin polysilicon films by means of probe microscopy Proc. of SPIE 3512 : 66 ~ 75
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