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제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 논문지 제어로봇시스템학회 논문지 제10권 제7호
발행연도
2004.7
수록면
604 - 610 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2006

불화 함유 다이아몬드 상 탄소 스탬프를 사용하는 UV 나노임프린트 리소그래피
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2003

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정준호 ,  심영석 ,  손현기 외 4명 대한기계학회 춘추학술대회 2003.04 학술대회자료
Multi-dispensing 방법에 의한 UV-나노임프린트 리소그래피
정준호 ,  심영석 ,  손현기 외 2명 기계와 재료 2003.01 동향자료
Multi-dispensing 방법에 의한 UV-나노임프린트 리소그래피 기술
정준호 ,  손현기 ,  심영석 외 2명 한국유변학회 학술발표회 2003.01 학술대회자료

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목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 수정 스탬프 제작과정 및 결과
Ⅲ. 다중 디스펜싱 방식에 의한 UV-NIL 실험 및 결과
Ⅳ. 결론
참고문헌

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - S. Y. Chou / 1996. / Nanoimprint lithography 14 (6) : 4129 ~ 4133 google schola [학술지(정기간행물)] - J. Haisma / 1996. / Mold-assisted nanolithography: A process for reliable pattern replication 14 (6) : 4124 ~ 4128 google schola [학술지(정기간행물)] - M. Colburn / 1999. / Step and flash imprint lithography: A new approach to high-resolution pattering 3676 : 379 ~ 389 google schola [학술지(정기간행물)] - S.V. Sreenivasan / 2002September / Nanoimprint lithography using UV curable liquids : 18 ~ 20 google schola [학술지(정기간행물)] - M. Bender / 2002. / Multiple imprinting in UV- based nanoimprint lithography related material issues 61-62 : 407 ~ 413 google schola

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