메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 마이크로/나노공학부문 춘계학술대회 강연 및 논문집
발행연도
2008.5
수록면
214 - 215 (2page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
Nanosphere lithography has been studied as a general fabrication method to produce periodic particle array with nanometer scale features. This paper presents the first sub-100 ㎚ nanosphere lithography (NSL) with an optimized spin coating condition and a nano template structure. The spin coating c ... 전체 초록 보기
#Nanosphere lithography(나노구체 리소그라피) #Nanoimprint lithography(나노임프린트 리소그라피) #Nano patterning(나노 패터닝)

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

Cohesive Zone Model 을 이용한 나노임프린트 리소그래피 공정에서의 이형과정 시뮬레이션
손기주 ,  이우일 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2013 .05
나노패턴 사파이어 기판의 조명 시뮬레이션
이창수 ,  이동재 ,  정태봉 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2011 .11
다중 디스펜싱 방법에 의한 UV-나노임프린트 리소그래피
정준호 ,  심영석 ,  손현기 외 2명 제어로봇시스템학회 논문지 2004 .07
나노스템프 구동용 중공형 압전액추에이터 기본특성에 관한 연구
박중호 ,  이후승 ,  이재종 외 3명 대한기계학회 논문집 A권 2011 .09
나노 임프린팅 기술에 의한 원기둥형 나노 패턴의 PMMA 도광판 형성 기술
이병욱 ,  이태성 ,  이종하 외 4명 대한전기학회 학술대회 논문집 2007 .11

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-018644300