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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.10
- 수록면
- 1,011 - 1,017 (7page)
이용수
초록· 키워드
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본 논문에서는 롤타입 마스크를 사용한 마이크로/나노 구조 제작용 광학 리소그래피 방법을 소개한다. 이 생산 방법은 다양한 목표 해상도에 따라 위상지연 리소그래피방법과 포토리소그래피로 나뉜다. 사용되는 빛의 파장대보다 작은 해상도를 갖는 패턴을 제작하기 위해서 실린더 형태의 위상지연 마스크를 활용한 근거리 노광 방식을 사용한다. 또한 필름 형태의 금속 마스크를 써서 포토리소그래피를 연속 방식으로 수행하였는데 이 방식은 실린더 마스크의 회전수를 조절함으로써 노광 결과 패턴의 주기를 실시간으로 조절할 수 있다. 이 기술의 응용으로 금속 그물패턴으로 만들어진 100 ㎟ 넓이의 투명전극을 제작하였다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
참고문헌
참고문헌 (7)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Kwak, M. K. / 2009 / Large-Area Dual-Scale Metal Transfer by Adhesive Force / SMALL 5 : 928 ~ 932
2. [학술지(정기간행물)] - Ahn, S. H. / 2007 / Bilayer Metal Wire-Grid Polarizer Fabricated by Roll-to-Roll Nanoimprint Lithography on Flexible Plastic Substrate / J. Vac. Sci. & Technol. B 25 (6) : 2388 ~ 2391
3. [학술지(정기간행물)] - Ahn, S. H. / 2008 / High Speed Rollto- Roll Nanoimprint Lithography on Flexible Plastic Substrate / Adv. Mater 20 : 2044 ~ 2049
4. [학술지(정기간행물)] - 곽문규 / 2010 / Fabrication of conductive metal lines by plate-to-roll pattern transfer utilizing edge dewetting and flexographic printing / JOURNAL OF COLLOID AND INTERFACE SCIENCE 343 : 301 ~ 305
5. [학술지(정기간행물)] - Choi, M.-C. / 2008 / Polymers for Flexible Displays: From Material Selection to Device Applications / Prog. Polym. Sci. 33 : 581 ~
2. [학술지(정기간행물)] - Ahn, S. H. / 2007 / Bilayer Metal Wire-Grid Polarizer Fabricated by Roll-to-Roll Nanoimprint Lithography on Flexible Plastic Substrate / J. Vac. Sci. & Technol. B 25 (6) : 2388 ~ 2391
3. [학술지(정기간행물)] - Ahn, S. H. / 2008 / High Speed Rollto- Roll Nanoimprint Lithography on Flexible Plastic Substrate / Adv. Mater 20 : 2044 ~ 2049
4. [학술지(정기간행물)] - 곽문규 / 2010 / Fabrication of conductive metal lines by plate-to-roll pattern transfer utilizing edge dewetting and flexographic printing / JOURNAL OF COLLOID AND INTERFACE SCIENCE 343 : 301 ~ 305
5. [학술지(정기간행물)] - Choi, M.-C. / 2008 / Polymers for Flexible Displays: From Material Selection to Device Applications / Prog. Polym. Sci. 33 : 581 ~
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