롤타입 마스크를 이용한 연속 포토리소그래피 기술과 그 응용

곽문규

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: 곽문규 (경북대학교)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제36권 제10호

발행연도: 2012.10

수록면: 1,011 - 1,017 (7page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

본 논문에서는 롤타입 마스크를 사용한 마이크로/나노 구조 제작용 광학 리소그래피 방법을 소개한다. 이 생산 방법은 다양한 목표 해상도에 따라 위상지연 리소그래피방법과 포토리소그래피로 나뉜다. 사용되는 빛의 파장대보다 작은 해상도를 갖는 패턴을 제작하기 위해서 실린더 형태의 위상지연 마스크를 활용한 근거리 노광 방식을 사용한다. 또한 필름 형태의 금속 마스크를 써서 포토리소그래피를 연속 방식으로 수행하였는데 이 방식은 실린더 마스크의 회전수를 조절함으로써 노광 결과 패턴의 주기를 실시간으로 조절할 수 있다. 이 기술의 응용으로 금속 그물패턴으로 만들어진 100 ㎟ 넓이의 투명전극을 제작하였다.

#Continuous Process(연속공정) #Roll to Roll(롤투롤) #Photolithography(포토리소그래피)

참고문헌 (7)

참고문헌 신청

1. [학술지(정기간행물)] - Kwak, M. K. / 2009 / Large-Area Dual-Scale Metal Transfer by Adhesive Force / SMALL 5 : 928 ~ 932

2. [학술지(정기간행물)] - Ahn, S. H. / 2007 / Bilayer Metal Wire-Grid Polarizer Fabricated by Roll-to-Roll Nanoimprint Lithography on Flexible Plastic Substrate / J. Vac. Sci. & Technol. B 25 (6) : 2388 ~ 2391

3. [학술지(정기간행물)] - Ahn, S. H. / 2008 / High Speed Rollto- Roll Nanoimprint Lithography on Flexible Plastic Substrate / Adv. Mater 20 : 2044 ~ 2049

4. [학술지(정기간행물)] - 곽문규 / 2010 / Fabrication of conductive metal lines by plate-to-roll pattern transfer utilizing edge dewetting and flexographic printing / JOURNAL OF COLLOID AND INTERFACE SCIENCE 343 : 301 ~ 305

5. [학술지(정기간행물)] - Choi, M.-C. / 2008 / Polymers for Flexible Displays: From Material Selection to Device Applications / Prog. Polym. Sci. 33 : 581 ~

이 논문의 저자 정보

M. K. Kwak

소속기관 경북대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 0.5% 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 299 이용수 15,401

이 논문과 함께 이용한 논문

다양한 광학 필름 생산을 위한 롤타입 포토리소그래피 공정 연구

이지훈 , 옥종걸 , L. Jay Guo 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2013 .10

다층 나노임프린트 리소그래피 공정장비 기술

이재종 , 최기봉 , 김기홍 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2009 .06

포토마스크 공정의 Plasma Etching 시 발생하는 Alumina Particle 개선

정유석 , 박환욱 , 정준화 외 4명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2014 .05

Continuous photolithography by roll type mask and applications

곽문규 대한기계학회 춘추학술대회 2012 .05

Maskless Photolithography 구현을 위한 DMD 노광 시스템 개발과 에너지 밀도 해석에 의한 패턴 분석

조명우 , 김동우 , 이수진 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2010 .04

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2014-550-001372843

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (7)

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)